Система компьютерной томографии RayScan Nano предназначена для изучения, контроля и анализа предметов, которые имеют структуру в нанометровом диапазоне. Она подходит для работы с интегральными схемами, микрочипами, образцами биоинженерии. Также ее успешно используют для классических томографических исследований в металлургической отрасли. Система обеспечивает оптимизацию производственных процессов и улучшение точности результатов по сравнению с существующими решениями в области цифровой томографии.
RayScan базируется на новейшей рентгеновской трубке с размером фокусного пятна менее 150 нм. Благодаря этому система является мощным исследовательским инструментом, который позволяет выполнять структурный, трехмерный и химический анализы материалов с высочайшим пространственным разрешением. При использовании совместно с высокочувствительным детектором и прецизионным манипулятором достигается детализация от 60 до 10 нм.
RayScan имеет три режима работы:
- трехмерная компьютерная томография;
- область интереса КТ;
- дополнительный режим 3D KT.
Система RayScan способна исследовать объекты размером до 100 мм. Поле зрения по вертикали находится в диапазоне от 200 мкм до 35 мм. Оцифровка данных выполняется путем подсчета фотонов.
| Параметр | RayScan Nano |
| Режимы работы | 3D компьютерная томография, область интереса КТ (ROI KT), дополнительный режим 3D KT |
| Напряжение рентгеновской трубки, кВ | нанофокус 10-80 |
| Фокусное пятно | 0,15 мкм/1 мкм |
| Максимальный размер объектов (диаметр/высота, мм) | < 0,1 - 100 |
| Максимальный вес объекта, кг | --- |
| Поле зрения (по вертикали) | 200 мкм - 35мм |
| Активная площадь детектора (опционально), мм2 | 30 x 185 |
| Количество пикселей детектора (опционально) | 512 x 3072 |
| Время измерения, включая восстановление, мин | --- |
| Активная длина линейных детекторов, мм | --- |
| Количество пикселей линейного детектора | --- |
| Мин. время сканирования 2D KT | --- |
| Оцифровка | подсчет фотонов |
| Разрешение детализации | < 60 нм |
| Контраст | --- |
